型号：PHI660
品牌：PERKIN-ELMER Φ
产地：美国
设备优点：
1、纳米级材料表面成分显微分析，具有很高的微区分析能力并可进行表面成像；
2、可测除H 、HE 以外的所有元素；
3、亚单层灵敏度探测深度1～ 20 单层,依赖材料和实验参数；
4、快速半定量元素分析，可同时进行AR 离子剖析；
5、可从化学位移线形等得到某些化学信息并完全解释。

      俄歇电子能谱仪(AES)是建立在电子技术、弱信号检测技术和超高真空技术基础上的一种研究材料表面组成元素的新型分析仪器。该设备可进行极表面1～10NM内元素分析如印痕，薄膜等，配合AR离子枪蚀刻，可进行指定元素的深度分布分析，从微量物证角度提供元素分析的精确数据。其在材料表面性质研究方面,有着不可替代的作用。广泛用于各种材料分析以及催化、吸附、腐蚀、磨损等方面的研究以及金属/半导体材料研发和故障分析。

      俄歇电子能谱仪（AES） 曾用于《对某型号绝缘铜管母线与企业标准（绝缘部分）是否一致进行鉴定》等多个材料分析类司法鉴定案例中。

俄歇电子能谱仪（AES）